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硅片除气装置公司了解更多「科创真空」nice的比较级和最高级

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明天商务网      2023-10-12 23:49:01     25

1分钟前 硅片除气装置公司了解更多「科创真空」[科创真空557abea]内容:真空除气储存柜的技术参数1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x

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详细介绍

1分钟前 硅片除气装置公司了解更多「科创真空」[科创真空557abea]内容:

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm;

2. 极限真空度:2×10-5Pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。

真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸:定制

2、加热功率:30-80 KW(实际功率可调)

3、加热元件:钼片

4、隔热组件:钼+不锈钢

5、温度测量:S型热电偶

6、控温精度:±1℃

7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)

8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。

真空除气储存柜的使用

1、真空除气装置,真空除气炉报价,在抽真空之前放置好产品、关闭箱室门,然后启动抽真空,加热系统持续不间断渐热。真空除气炉公司,达到设定真空度时,保持加热并持续保持真空度,设定工艺完成后,自动停止抽真空,加热系统关闭。当进入维持真空模式时,低于下限的时候自动启动;(启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空破空)

2、真空度设定操作见操作说明书,用不到的功能禁止调整。

3、试验时间完成后,自动破空,破空完成后,方可开门取出产品。

真空除气储存柜维护要求

真空除气储存柜,又称真空存储箱,用于各类金属材料,化工原料,半导体芯片、电路板、电子器件,电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储,防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用,经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。

1、放入需要保存的产品,快速抽真空到极限真空,可能逐渐回压到一个平衡值,长期保存;

2、放入保存的产品后,启动程序,快速抽至真空下限值,持续保压如箱内回压到上限值之后,会自动启动抽真空至下限值;

3、抽真空至下真空度后,自动充入氮气至常压,在无氧环境下保存产品。

为了提高空间的利用率,通常可以分为两腔,三腔,四腔,六腔体等等。根据产品的存放要求,存放时间和工艺产线要求,程序可以做不同的调整。

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