PDMS键合原理
等离子键合机,用于将聚二甲ji硅氧烷(PDMS)与自身或者其他材料(如玻璃、硅片)紧密粘合形成微通道。PDMS键合的工作原理是:在真空状态下,空气或者氧气被高频电源发生器激发电离,形成等离子体,清除PDMS表面的有机物,使其暴漏在高活性的氧自由基和高能氧离子的气氛中,PDMS表面的碳氢化合物与其反应,形成硅醇(SiOH)基团,增加了PDMS表面的亲水性和润湿性。将经过等离子体活化的PDMS与另外的PDMS或玻璃表面接触,在界面处,硅醇基团与其他表面上的硅醇基团或硅氧化物形成稳定且不可逆的Si-O-Si共价键,形成了密封且耐久的界面,完成PDMS的键合。
等离子键合机操作与使用
控制面板按键按钮说明
压力表盘:此处压力表显示的数值为真空度的比值,压力表的实际值大于设定值是显示红色,如果实际值没有达到设定值显示绿色,此时辉光不会开启!调低设定值小于实际值0.2-0.3,辉光就会开启。
气体流量计:手动慢慢调节旋钮使流量计中的刻度保持平衡,即可在下一次自动清洗过程中不需再做调整,通常流量计范围调节至30%-60%。
等离子键合机操作与使用
机器初始安装步骤
1.第yi次开机前,先取出托载盘(专指不锈钢内置仓体机,而对于外置石英玻璃仓体则绝bu允许撤出托载盘),合闭仓门,此时会听到仓门限位开关发出动作声音,此音响表明允许后续的处理操作能正常进行。
2、按下红色按钮开关,开关上指示灯亮;按下触摸屏上的手动开启,真空泵绿色按钮,并轻推舱门(检查能否正常感应)启动真空泵,进入抽真空状态。
PDMS浇筑
1)将需要制备芯片的模具放置于在浇筑托盘里;
2)将脱泡后的PDMS缓慢浇筑到托盘内,厚度依据需求确认,静止10min;
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