净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
1.洁净空间压力高于不洁净空间压力。
2.洁净度高的空间压力高于相邻的洁净度低的空间压力。
保持压力差的方法是用新风量来补偿在压力差下通过间隙排出的空气量。因此，压差的物理意义是对通过洁净室各种间隙的泄漏（或渗透）风量的阻力。
净化工程洁净室的气流速度
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，其他洁净空间的气流速度将在具体设备的讨论中进行说明。
这是对乱流洁净室的比紊流、更地描述。湍流度主要由雷诺数决定，即流的量决定。然而，如果使用的过滤器作为自上而下的空气供应，所有这些结果的可以产生即使在非常低的流量，因为它是一个突然和不均匀的流动。因此，在这种情况下，不仅存在紊流引起的流层之间的混合，整个腔室内还存在较大的回流和涡流混合。
净化工程-单向流动洁净室原理
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