我们通常称的质量流量控制器，它的全称是热式气体质量流量控制器，英文：Mass Flow Controller(简称MFC)；而质量流量计的全称是热式气体质量流量计，英文名：Mass Flow Meter(简称MFM）。它们是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
质量流量计，是一种计量和监测的仪表；而质量流量控制器，不但具有质量流量计的功能，更重要的是：它能够自动地控制气体的流量，也就是说，用户可根据情况的需要，来进行流量的设定，流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说，一般情况下，仅对气体流量进行计量或监测的话，用质量流量计就能够满足要求；而如果是需要对气体流量进行控制的话，则需要用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
气体质量流量控制器怎么来控制液氮的流量呢？液氮是指液态的氮气。液氮是惰性，无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低的液体，汽化时大量吸热接触造成。在工业中，液态氮是由空气分馏而得，将空气净化后，在加压、冷却的环境下液化，借由空气中各组分之沸点不同加以分离。
气体质量流量计和流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
流量控制器在等离子清洗设备中的使用情况
在等离子清洗机中，一般会使用到微小流量的气体，对其进行离化，生成一种全新的物质状态——等离子状态。模拟型和数字型的气体质量流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用，设备对气体质量流量控制器的稳定性和重复性要求极高，耐压能达5Mpa，精度可达±1%F.S，重复性和线性精度稳定。
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质，对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外呢，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。
气体质量流量计是一款具有高精度的控制装置，通过新型算法及先进的自整定技术，实现较优控制，通过区间PID实现调节，采用数控技术，自动化程度高，具有强大的抗干扰性能，能有效避免电源干扰对通信信号的影响，实现稳定控制和测量。
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